姜春竹

作品数:2被引量:7H指数:2
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供职机构:哈尔滨工业大学更多>>
发文主题:磁控溅射启辉磁控灯组碳化硅反射镜更多>>
发文领域:理学一般工业技术电气工程电子电信更多>>
发文期刊:《光谱学与光谱分析》更多>>
所获基金:国家自然科学基金国家高技术研究发展计划国家教育部博士点基金黑龙江省自然科学基金更多>>
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溅射工艺参数对硅薄膜微结构影响的Raman分析被引量:3
《光谱学与光谱分析》2010年第7期1793-1797,共5页田桂 朱嘉琦 韩杰才 姜春竹 贾泽纯 
国家自然科学基金项目(50972031);教育部博士点基金项目(200802131006);黑龙江省自然科学基金青年基金项目(QC2009C56)资助
为了解决碳化硅难以进行光学加工的问题,该文采用射频磁控溅射方法,在碳化硅反射镜坯体上沉积与碳化硅具有相近热膨胀系数且易于进行光学加工的硅薄膜。利用拉曼光谱(Raman)对衬底温度、射频功率、衬底偏压等溅射工艺条件对硅膜微结构...
关键词:碳化硅反射镜 硅薄膜 磁控溅射 拉曼散射 
过滤电弧沉积非晶金刚石薄膜的光谱椭偏研究被引量:4
《光谱学与光谱分析》2006年第2期203-207,共5页朱嘉琦 韩杰才 陶艳春 姜春竹 
国家"十五"预研(41312040401);国家"863"计划新材料领域(2002AA305507)资助项目
为了深入理解过滤阴极电弧沉积非晶金刚石薄膜的光学性质,利用光谱椭偏仪研究了薄膜光学常数随测试偏振光波长变化的谱学关系,进而分析了薄膜折射率、消光系数和光学带隙与沉积能量之间的变化规律。实验表明,非晶金刚石薄膜的折射率高...
关键词:非晶金刚石 光谱椭偏 过滤阴极真空电弧 光学性能 
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