贾泽纯

作品数：2被引量：3H指数：1
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供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
发文主题：磁控溅射碳化硅反射镜硅薄膜超声清洗表面涂覆更多>>
发文领域：一般工业技术理学金属学及工艺更多>>
发文期刊：《无机材料学报》《光谱学与光谱分析》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家教育部博士点基金黑龙江省自然科学基金更多>>
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溅射工艺参数对硅薄膜微结构影响的Raman分析被引量：3
《光谱学与光谱分析》2010年第7期1793-1797,共5页田桂 朱嘉琦 韩杰才 姜春竹 贾泽纯 
国家自然科学基金项目(50972031);教育部博士点基金项目(200802131006);黑龙江省自然科学基金青年基金项目(QC2009C56)资助
为了解决碳化硅难以进行光学加工的问题,该文采用射频磁控溅射方法,在碳化硅反射镜坯体上沉积与碳化硅具有相近热膨胀系数且易于进行光学加工的硅薄膜。利用拉曼光谱(Raman)对衬底温度、射频功率、衬底偏压等溅射工艺条件对硅膜微结构...
关键词：碳化硅反射镜 硅薄膜 磁控溅射 拉曼散射 
掺硼四面体非晶碳膜的微观结构及光谱表征
《无机材料学报》2008年第1期180-184,共5页张化宇 檀满林 韩杰才 朱嘉琦 贾泽纯 
国家自然科学基金(50602012)
分别采用过滤阴极真空电弧技术制备了不同含硼量四面体非晶碳(ta-C:B)膜,并用X射线光电子能谱(XPS)、Raman光谱对薄膜的微观结构和化学键态进行了研究.XPS分析表明薄膜中B主要以石墨结构形式存在,随着B含量的增加,sp^3杂化碳的含量逐渐...
关键词：四面体非晶碳(ta-C) XPS RAMAN光谱 
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