汲大鹏

作品数：2被引量：7H指数：2
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供职机构：大连理工大学化工学院(石油化工学院)更多>>
发文主题：过渡层类金刚石膜XNSIRAMAN更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《物理学报》《真空科学与技术学报》更多>>
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通过制备Ti/TiC和Si/Si_xN_y过渡层在铜基体上沉积类金刚石膜的研究被引量：5
《真空科学与技术学报》2006年第5期397-403,共7页王静 刘贵昌 汲大鹏 徐军 邓新禄 
将磁控溅射物理气相沉积(MS-PVD)和电子回旋共振-微波等离子体增强化学气相沉积(ECR-PECVD)技术相结合,在铜基体上通过制备两种不同的过渡层,成功地沉积了类金刚石膜。拉曼光谱结果分析表明,所制备的碳膜都具有典型的类金刚石结构特征...
关键词：类金刚石膜 铜基体 过渡层 拉曼光谱(Raman) 原子力显微镜(AFM) 纳米压痕 
铜上采用过渡层沉积类金刚石薄膜的研究被引量：4
《物理学报》2006年第7期3748-3755,共8页王静 刘贵昌 汲大鹏 徐军 邓新禄 
将等离子增强非平衡磁控溅射物理气相沉积(PEUMS-PVD)和电子回旋共振-微波等离子体增强化学气相沉积(MW-ECRPECVD)技术相结合,通过制备不同的过渡层,在铜基上成功地制备了类金刚石膜.拉曼光谱分析表明,所制备的碳膜具有典型的类金刚石...
关键词：铜基体 类金刚石膜 过渡层 拉曼光谱 
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