邓新禄

作品数：13被引量：90H指数：6
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供职机构：大连理工大学更多>>
发文主题：等离子体甲烷非平衡磁控溅射降膜蒸发磁控溅射更多>>
发文领域：理学一般工业技术化学工程动力工程及工程热物理更多>>
发文期刊：《核技术》《物理学报》《真空科学与技术学报》《Chinese Journal of Catalysis》更多>>
所获基金：国家自然科学基金教育部留学回国人员科研启动基金中国工程物理研究院科技基金更多>>
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通过制备Ti/TiC和Si/Si_xN_y过渡层在铜基体上沉积类金刚石膜的研究被引量：5
《真空科学与技术学报》2006年第5期397-403,共7页王静 刘贵昌 汲大鹏 徐军 邓新禄 
将磁控溅射物理气相沉积(MS-PVD)和电子回旋共振-微波等离子体增强化学气相沉积(ECR-PECVD)技术相结合,在铜基体上通过制备两种不同的过渡层,成功地沉积了类金刚石膜。拉曼光谱结果分析表明,所制备的碳膜都具有典型的类金刚石结构特征...
关键词：类金刚石膜 铜基体 过渡层 拉曼光谱(Raman) 原子力显微镜(AFM) 纳米压痕 
铜上采用过渡层沉积类金刚石薄膜的研究被引量：4
《物理学报》2006年第7期3748-3755,共8页王静 刘贵昌 汲大鹏 徐军 邓新禄 
将等离子增强非平衡磁控溅射物理气相沉积(PEUMS-PVD)和电子回旋共振-微波等离子体增强化学气相沉积(MW-ECRPECVD)技术相结合,通过制备不同的过渡层,在铜基上成功地制备了类金刚石膜.拉曼光谱分析表明,所制备的碳膜具有典型的类金刚石...
关键词：铜基体 类金刚石膜 过渡层 拉曼光谱 
化爆材料瞬态切削温度的NiCr/NiSi薄膜热电偶温度传感器的研制被引量：14
《机械工程学报》2006年第3期206-211,共6页曾其勇 孙宝元 徐静 贾颖 崔云先 邓新禄 徐军 
中国工程物理研究院重大基金资助项目(200120301)
针对化爆材料的切削特点,研制出一种集切削和测温功能于一体的NiCr／NiSi薄膜热电偶快速响应温度传感器。用多弧离子镀将NiCr/NiSi热电偶薄膜直接镀于高速钢刀头内。薄膜热电偶电极与高速钢之间采用最先进的多层镀膜法绝缘,即用微波ECR...
关键词：薄膜热电偶 切削温度 磁控溅射 离子镀 化爆材料 
偏压对ECR-微波等离子增强沉积ZrN薄膜的结构及性能的影响
《核技术》2005年第6期424-429,共6页刘天伟 董闯 邓新禄 陈曦 
中国工程物理研究院联合基金(10176005)资助
利用ECR-微波等离子溅射沉积技术加不同偏压在45#钢基体上制备了ZrN薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)对薄膜的微观组织结构进行了分析。结果表明,无偏压时薄膜为非晶膜,随着偏压的升高,薄膜呈ZrN晶体结构。利用扫描电镜...
关键词：等离子体增强沉积 非平衡磁控溅射 ZrN薄膜 偏压 
MW-ECR PE-UMS等离子体特性及对Zr-N薄膜结构性能的影响被引量：3
《物理学报》2005年第7期3257-3262,共6页张治国 刘天伟 徐军 邓新禄 董闯 
国家自然科学基金(批准号:10176005)资助的课题.~~
采用静电探针技术对微波电子回旋共振(MW ECR)等离子体进行了诊断,利用等离子体增强非平衡磁控溅射(PE UMS)法在常温下制备了Zr N薄膜,通过EPMA,XRD,显微硬度对膜的结构和性能进行评价.实验结果表明,随氮气流量增加,总的等离子体密度从8...
关键词：等离子体特性 结构性能 非平衡磁控溅射 电子回旋共振 等离子体增强 等离子体密度 结构和性能 探针技术 EPMA 显微硬度 温度变化 薄膜硬度 XRD 气流量 氮含量 原子比 非晶相 亚稳态 氮流量 非晶态 减小 增大 样品 静电 
Langmuir探针诊断微波ECR非平衡磁控溅射等离子体被引量：8
《真空科学与技术学报》2005年第2期110-114,共5页张治国 陈小锰 刘天伟 徐军 邓新禄 董闯 
中物院联合基金(10176005)
利用朗谬尔探针诊断了ECR非平衡磁控溅射等离子体,给出了微观等离子体参量随宏观工艺参量变化关系。实验测得基片架附近等离子体密度达到1010～1011数量级,电子温度在(5～10)eV之间。随溅射靶功率变化,等离子体密度在130W时取得最大值;...
关键词：非平衡磁控溅射 LANGMUIR 探针诊断 ECR 等离子体密度 等离子体参量 电子温度 功率变化 变化关系 电位变化 最大值 工艺参 数量级 溅射靶 微波源 片架 
光谱诊断冷等离子体作用下甲烷转化机理的初步研究(英文)被引量：11
《光散射学报》2004年第2期166-171,共6页张秀玲 刘中凡 李学慧 代斌 宫为民 张家良 邓新禄 
ThisprojectwassupportedbyNationalNaturalScienceFoundationofChina(GrantNo.29576229).
冷等离子体是甲烷无氧活化制C2烃较为有效的技术手段之一,由于等离子体反应体系的复杂性,甲烷无氧活化制C2烃反应机理及过程尚不十分清楚。本文采用发射光谱原位诊断技术对冷等离子体作用下甲烷无氧活化制C2烃反应中若干激发态物种进行...
关键词：发射光谱 甲烷 激发态物种 等离子体 
微波-ECR等离子体辅助沉积Zr-N薄膜结构和性能研究被引量：3
《真空科学与技术学报》2004年第5期334-338,342,共6页刘天伟 邓新禄 王小英 王英敏 董闯 
中物院联合基金 (No .10 1760 0 5 )
在不同氮流量下 ,利用微波 ECR等离子体溅射沉积技术在 4 5 # 钢基体上制备了ZrN薄膜。XRD、TEM分析结果表明 :随着充入N2 流量的改变 ,薄膜结构由单一的ZrN结构向ZrN和ZrNx 复合结构转变 ,然后出现非晶态结构。当N2 流量在 (2～ 8)scc...
关键词：薄膜结构 等离子体 俄歇电子谱 溅射沉积 正交 非晶态结构 XRD 薄膜硬度 钢基体 45^#钢 
表面处理水平管外海水降膜蒸发传热的初步实验研究被引量：6
《水处理技术》2004年第1期22-25,共4页马学虎 安家明 朱晓波 陈嘉宾 邓新禄 
对经处理的表面进行了传热性能测定和表面抗垢特性的考察。考察了淡水和海水在离子镀铬、氮化钛和化学处理水平铝管外表面的降膜传热热性。实验结果表明,经过表面改性处理后的表面可以实现高传热率、耐腐蚀和抗污垢的多重综合功效,对于...
关键词：表面处理铝管 海水淡化 降膜蒸发 传热率 水资源 
功能表面降膜蒸发传热特性的实验研究被引量：22
《热科学与技术》2003年第2期119-123,共5页马学虎 高大志 安家明 朱晓波 陈嘉宾 邓新禄 
国家自然科学基金资助 ( 5 990 6 0 0 2 );教育部留学回国人员科研启动基金资助 (教外司留 [1999] 747号 )
研究了处理表面镀铬铝管、PTFE铜管和纯铝氧化管水平管降膜蒸发传热 ,研究了喷淋密度、热流密度、管内蒸汽速度和管表面处理对降膜蒸发传热特性的影响。实验结果表明 :在表面蒸发区 ,水平管降膜蒸发传热系数随热流密度的增加而提高 ,随...
关键词：降膜蒸发传热 功能表面 抗污垢耐腐蚀 水平管降膜蒸发器 
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