陈曦

作品数：1被引量：0H指数：0
导出分析报告
供职机构：江苏大学更多>>
发文主题：ECR非平衡磁控溅射偏压更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《核技术》更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
偏压对ECR-微波等离子增强沉积ZrN薄膜的结构及性能的影响
《核技术》2005年第6期424-429,共6页刘天伟 董闯 邓新禄 陈曦 
中国工程物理研究院联合基金(10176005)资助
利用ECR-微波等离子溅射沉积技术加不同偏压在45#钢基体上制备了ZrN薄膜。利用X射线衍射仪(XRD)、透射电子显微镜(TEM)对薄膜的微观组织结构进行了分析。结果表明,无偏压时薄膜为非晶膜,随着偏压的升高,薄膜呈ZrN晶体结构。利用扫描电镜...
关键词：等离子体增强沉积 非平衡磁控溅射 ZrN薄膜 偏压 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部