张治国

作品数：3被引量：14H指数：3
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供职机构：大连理工大学材料科学与工程学院三束材料改性教育部重点实验室更多>>
发文主题：等离子体密度非平衡磁控溅射等离子体特性UMSLANGMUIR更多>>
发文领域：理学一般工业技术核科学技术更多>>
发文期刊：《物理学报》《真空科学与技术学报》更多>>
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MW-ECR PE-UMS等离子体特性及对Zr-N薄膜结构性能的影响被引量：3
《物理学报》2005年第7期3257-3262,共6页张治国 刘天伟 徐军 邓新禄 董闯 
国家自然科学基金(批准号:10176005)资助的课题.~~
采用静电探针技术对微波电子回旋共振(MW ECR)等离子体进行了诊断,利用等离子体增强非平衡磁控溅射(PE UMS)法在常温下制备了Zr N薄膜,通过EPMA,XRD,显微硬度对膜的结构和性能进行评价.实验结果表明,随氮气流量增加,总的等离子体密度从8...
关键词：等离子体特性 结构性能 非平衡磁控溅射 电子回旋共振 等离子体增强 等离子体密度 结构和性能 探针技术 EPMA 显微硬度 温度变化 薄膜硬度 XRD 气流量 氮含量 原子比 非晶相 亚稳态 氮流量 非晶态 减小 增大 样品 静电 
微波ECR等离子体特性及其对DLC膜性能的影响被引量：3
《真空科学与技术学报》2005年第2期146-149,共4页陈小锰 邓新绿 张治国 刘天伟 丁万昱 徐军 
国家自然科学基金(No.50135040;50390060)
为了解并优化在微波ECR等离子体增强化学气相沉积制备类金刚石膜工艺研究中的等离子体特性,利用朗缪尔探针法系统地测量了等离子体密度(Ne)、电子温度(Te)随工作气压(p)变化的关系。DLC膜的结构和性能依赖于沉积条件,提高等离子体密度...
关键词：等离子体特性 ECR 等离子体增强化学气相沉积 微波 膜性能 等离子体密度 结构和性能 DLC膜 均方根粗糙度 电子温度 类金刚石膜 工艺研究 工作气压 沉积条件 变化曲线 拉曼光谱 探针法 CH4 表面 
Langmuir探针诊断微波ECR非平衡磁控溅射等离子体被引量：8
《真空科学与技术学报》2005年第2期110-114,共5页张治国 陈小锰 刘天伟 徐军 邓新禄 董闯 
中物院联合基金(10176005)
利用朗谬尔探针诊断了ECR非平衡磁控溅射等离子体,给出了微观等离子体参量随宏观工艺参量变化关系。实验测得基片架附近等离子体密度达到1010～1011数量级,电子温度在(5～10)eV之间。随溅射靶功率变化,等离子体密度在130W时取得最大值;...
关键词：非平衡磁控溅射 LANGMUIR 探针诊断 ECR 等离子体密度 等离子体参量 电子温度 功率变化 变化关系 电位变化 最大值 工艺参 数量级 溅射靶 微波源 片架 
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