高文胜

作品数:1被引量:1H指数:1
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发文主题:GAN材料GAN光电子集成键合技术半导体材料更多>>
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GaN材料键合技术研究进展被引量:1
《半导体光电》2003年第6期377-381,共5页袁志军 高文胜 唐昕龙 邢启江 
国家自然科学基金资助项目(69976003)
 GaN材料及其有关光电子器件的研制是近年来光电子研究领域内的研究热点之一,而键合技术又是光电子集成研究领域内一项新的制作工艺。利用键合技术也可以研制出一些新型的光电子器件,这些器件用其他生长技术是不可能实现的。概括地介...
关键词:GAN 外延片键合 光电子集成 
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