张鑫慧

作品数：2被引量：4H指数：1
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供职机构：天津大学更多>>
发文主题：表面波机械特性ULSI频散特性低介电常数介质更多>>
发文领域：电子电信医药卫生一般工业技术自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《Journal of Semiconductors》更多>>
所获基金：教育部留学回国人员科研启动基金国家自然科学基金更多>>
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表征ULSI低介电常数互连材料机械特性的表面波频散特性被引量：4
《Journal of Semiconductors》2005年第10期2032-2037,共6页李志国 肖夏 张鑫慧 姚素英 
国家自然科学基金(批准号:60406003);教育部留学回国人员科研启动基金资助项目~~
研究了在Si(100)衬底上淀积低k薄膜的分层结构中表面波沿Si[100]和[110]晶向传播的速度频率色散特性,给出了表面波色散特性的理论推导,得到了低k薄膜的杨氏模量、密度、厚度和泊松常数对色散关系的影响.
关键词：低介电常数介质 表面波 频散特性 杨氏模量 
表面波方法表征纳米多孔SiO_2薄膜机械特性的对准技术被引量：1
《纳米技术与精密工程》2005年第2期122-125,共4页肖夏 张鑫慧 姚素英 
国家自然科学基金资助项目(60406003);教育部留学归国人员科研启动基金.
超声表面波方法表征薄膜材料机械特性的过程是将理论计算的色散曲线与实验所得的色散曲线进行拟合,获得所测薄膜样品的杨氏模量值.因此,实验信号的有效性是获得准确结果的最重要因素.双端压电传感探头的设计确保了实验测试条件与理论计...
关键词：SIO2薄膜 机械特性 纳米多孔 对准技术 表征 理论计算模型 色散曲线 超声表面波 薄膜材料 薄膜样品 测试条件 传感探头 机械性能 测定结果 角度偏差 分析结果 准确性 实验 拟合 一致性 量值 
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