范鹏辉

作品数：2被引量：4H指数：1
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供职机构：大连理工大学更多>>
发文主题：拉曼散射多晶硅薄膜电感耦合等离子体磁控溅射等离子体辅助更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《物理学报》《真空》更多>>
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等离子体源辅助磁控溅射法低温(200℃)制备多晶硅薄膜被引量：1
《真空》2012年第3期47-50,共4页朱明 苏元军 范鹏辉 徐军 
利用电感耦合等离子体辅助中频直流脉冲磁控溅射技术在200℃成功制备出多晶硅薄膜。详细介绍了等离子体源辅助磁控溅射技术制备多晶硅的工艺过程,并对辅助等离子体源放电功率对硅薄膜结晶度的影响进行了研究。利用拉曼散射、X射线衍射...
关键词：多晶硅薄膜 电感耦合等离子体 磁控溅射 拉曼散射 红外光谱 
利用等离子体辅助脉冲磁控溅射实现多晶硅薄膜的低温沉积被引量：3
《物理学报》2012年第2期499-508,共10页苏元军 徐军 朱明 范鹏辉 董闯 
教育部科技创新工程重大项目培育资金项目(批准号:707015);辽宁省高等学校创新团队支持计划资助的课题~~
本文报道了利用电感耦合等离子体辅助中频直流脉冲磁控溅射在温度300℃以下沉积氢化多晶硅薄膜的制备方法.利用拉曼散射、X射线衍射、透射电子衍射和傅里叶红外光谱对多晶硅薄膜进行了表征.详细研究了氢气在沉积过程中所起的作用,并结合...
关键词：多晶硅薄膜 电感耦合等离子体 磁控溅射 拉曼散射 
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