崔贲涛

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供职机构：北京工业大学更多>>
发文主题：ECR-CVD电子回旋共振ECRCVD立方氮化硼薄膜更多>>
发文领域：电子电信理学一般工业技术更多>>
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ECR-CVD法制备BN薄膜
《材料科学与工程学报》2000年第z2期633-636,共4页张生俊 崔贲涛 王波 严辉 陈光华 
国家自然科学基金,北京市自然科学基金,北京市科技新星计划和北京市科技骨干培养基金资助项目
cBN薄膜的CVD制备是一个很受关注的课题.本文研究了ECR-CVD系统的等离子体特性,并在Si(100)衬底上进行了BN薄膜的生长实验,初步获得了cBN含量约为23.8%的BN薄膜;分析了H2在CVD生长cBN中的影响.
关键词：电子回旋共振 CBN 薄膜 
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