张生俊

作品数：7被引量：19H指数：3
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供职机构：中国运载火箭技术研究院更多>>
发文主题：CVD金刚石立方氮化硼衬底立方氮化硼薄膜更多>>
发文领域：理学电子电信化学工程一般工业技术更多>>
发文期刊：《材料科学与工程学报》《无机材料学报》《北京工业大学学报》《物理学报》更多>>
所获基金：北京市自然科学基金国家自然科学基金更多>>
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射频电感耦合夹层等离子体中的模式转换被引量：6
《物理学报》2012年第19期337-342,共6页杜寅昌 曹金祥 汪建 郑哲 刘宇 孟刚 任爱民 张生俊 
本文利用微波相位法和光谱诊断法,研究了ICP放电等离子体在圆台状夹层等离子体中E模和H模相互转换的物理现象.E模和H模的之间转换过程是一个瞬间突变的,转换点的输入功率随真空室压强的变化而变化.H模向E模转换的阈值功率低于E模向H模...
关键词：ICP放电 E—H模 等离子体源 等离子体光谱 
热丝辅助ECR CVD制备cBN薄膜被引量：2
《无机材料学报》2003年第4期947-950,共4页张生俊 陈光华 
国家自然科学基金(19874007);北京市自然科学基金(2982013)
立方氮化硼(cBN)是一种具有广泛应用价值的Ⅲ-Ⅴ族二元化合物,其优异性质可与金刚石相比拟或胜之。立方氮化硼的制备与性能研究是近二十年来材料领域关注的焦点之一。我们用热丝辅助ECR CVD方法制备了cBN薄膜,并初步探讨了热丝对cBN形...
关键词：CBN ECR CVD 热丝 
几种新型超硬薄膜的研究进展被引量：4
《物理》2001年第10期622-627,共6页张生俊 陈光华 邓金祥 宋雪梅 邵乐喜 
国家自然科学基金 (批准号 :698760 0 3 ;1 98740 0 7) ;北京市自然科学基金 (批准号 :2 982 0 1 3)
超硬材料主要由Ⅲ ,Ⅳ ,Ⅴ族共价键化合物 (碳化物、氮化物 )和单质 (金刚石 )组成 ,硬度高于 4 0GPa ,有单晶、多晶、非晶等多种 .除金刚石外 ,这些材料都是人工合成的 ,没有天然对应物 .除超硬性质以外 ,这些材料大都具有宽带隙、高...
关键词：超硬材料 金刚石 立方氮化硼 氮化碳 类金刚石碳 超硬薄膜 
衬底材料对制备立方氮化硼薄膜的影响被引量：4
《物理学报》2001年第1期83-87,共5页陈光华 邓金祥 张生俊 宋雪梅 王波 严辉 
国家自然科学基金!(批准号 :6 9876 0 0 3 ;198740 0 7);北京市自然科学基金资助的课题&&
较系统地研究了不同衬底材料对制备立方氮化硼薄膜的影响 .用热丝增强射频等离子体CVD法 ,以NH3,B2 H6和H2 为反应气体 ,在Si,Ni,Co和不锈钢等衬底材料上 ,成功生长出高质量的立方氮化硼薄膜 .还用13 5 6MHz的射频溅射系统将c BN薄膜沉...
关键词：立方氮化硼薄膜 衬底 热丝CVD 射频溅射 
ECR-CVD法制备BN薄膜
《材料科学与工程学报》2000年第z2期633-636,共4页张生俊 崔贲涛 王波 严辉 陈光华 
国家自然科学基金,北京市自然科学基金,北京市科技新星计划和北京市科技骨干培养基金资助项目
cBN薄膜的CVD制备是一个很受关注的课题.本文研究了ECR-CVD系统的等离子体特性,并在Si(100)衬底上进行了BN薄膜的生长实验,初步获得了cBN含量约为23.8%的BN薄膜;分析了H2在CVD生长cBN中的影响.
关键词：电子回旋共振 CBN 薄膜 
HFCVD法沉积金刚石薄右热丝优化方法被引量：1
《人工晶体学报》2000年第3期269-274,共6页宋雪梅 张生俊 
本文探讨了在ＨＦＣＶＤ（ｌｏｔ ｆｉｌａｍｅｎｔ ｃｈｅｍｉｃａｌ ｖａｐｏｒ ｄｅｐｏｓｉｔｏｉｎ）沉积金刚石薄膜中热丝数量、位置等几何参数对温度温度场和辐射场的影响。利用系统热传递和计算机辅助的数值解方法得到了该...
关键词：金刚石薄厝 CVD 热丝法 HFCVD 沉积 衬底 
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