超硬薄膜

作品数：37被引量：138H指数：7
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金属氮化物和碳化物硬质涂层的研究及应用进展被引量：9
《材料导报（纳米与新材料专辑）》2014年第2期491-493,496,共4页宋慧瑾 鄢强 李玫 
四川省教育厅青年科研项目(10ZB144)
利用超硬涂层进行材料防护是提高材料性能的一种经济、实用性途径,也是提高模具寿命的重要手段。按金属氮化物和碳化物耐磨硬质涂层材料的不同,综述了耐磨涂层的研究进展,介绍了其制备方法,展望了防护涂层的发展趋势。
关键词：超硬薄膜 硬质涂层 金属氮化物 金属碳化物 
氮气流量对(Ti,Al,Si,Cr)N超硬薄膜的结构与性能的影响被引量：3
《金属热处理》2014年第2期65-68,共4页王芳 黄维刚 赵海波 
国家自然科学基金(51275323)
采用等离子增强磁控溅射技术(PEMC)在YG8硬质合金表面制备了(Ti,Al,Si,Cr)N超硬膜,研究了N2流量对膜层结构、成分、形态特征与性能的影响。结果表明,所得薄膜为面心立方结构,随N2流量增加,薄膜的晶体学取向由(111)晶面向(200)晶面转变...
关键词：磁控溅射 (Ti AL SI Cr)N膜 超硬膜 N2 流量 
磁控溅射制备Ru-B薄膜的研究被引量：2
《贵金属》2013年第2期5-9,14,共6页殷聪朋 管伟明 张俊敏 刘洪江 陈勇 张昆华 
国家自然科学基金(51262015);云南省应用基础研究重点项目(2010ZC261);云南省应用基础研究项目(2010ZC55)资助
采用射频磁控溅射技术制备了Ru-B薄膜,利用掠入射X射线衍射(GIXRD)、高分辨透射电子显微镜(HRTEM)、原子力显微镜(AFM)等分析技术对薄膜的相结构、沉积速率以及表面形貌进行了研究分析。结果表明:在室温下制备的Ru-B薄膜均为非晶态。薄...
关键词：金属材料 超硬薄膜 磁控溅射 Ru—B薄膜 表面形貌 
钛表面纳米复合Si-C-N超硬薄膜的结构与性能被引量：2
《稀有金属材料与工程》2013年第6期1165-1168,共4页赵勇 华云峰 王彦峰 李争显 
采用电弧增强磁控溅射(AEMS)技术在钛表面制备纳米复合Si-C-N超硬薄膜,研究薄膜的显微结构、相组成、硬度、韧性、摩擦学行为和耐蚀性能。结果表明,薄膜形成了C–C、C=C、N–C以及Si–C非晶复合组织结构。薄膜的硬度为(38.2±4.1)GPa,...
关键词：纳米复合Si-C-N超硬薄膜 显微结构 断裂韧性 摩擦系数 耐蚀性能 
电弧增强磁控溅射制备的纳米复合Si-C-N超硬薄膜的结构与性能
《材料保护》2013年第3期55-57,1-2,共3页郑凤新 
耐磨、韧性好的超硬薄膜工程应用价值大。采用电弧增强磁控溅射(AEMS)技术在GCr15轴承钢表面制备了纳米复合Si-C-N超硬薄膜,研究了薄膜的形貌、相组成、硬度、韧性和摩擦磨损性能。结果表明:薄膜中纳米SiC与Si3N4晶体弥散分布于C-C,C=C...
关键词：AEMS 纳米复合Si-C-N超硬薄膜 显微结构 硬度 断裂韧性 摩擦系数 
超硬薄膜制备技术与性能表征方法的研究进展被引量：3
《表面技术》2012年第6期99-103,共5页郑凤新 
超硬薄膜能够显著提高材料的关键服役性能。系统总结了超硬薄膜的硬化机制、制备技术以及性能表征方法,分析了制备技术和性能表征方法的优缺点,指出了超硬薄膜研究发展的方向。
关键词：超硬薄膜 制备技术 性能表征 
B-Si-C-N系耐磨硬质膜的研究及应用进展
《成都大学学报（自然科学版）》2011年第2期178-180,194,共4页宋慧瑾 鄢强 朱晓东 
四川省教育厅青年科研项目(10ZB144);成都大学青年基金(2010XJZ20)资助项目
利用超硬薄膜进行材料防护是提高材料性能的一种经济、实用的途径,也是提高模具寿命的重要手段.根据B-Si-C-N系耐磨硬质膜材料的不同,综述了高温耐磨涂层的研究进展,说明了其制备方法,展望了防护涂层的发展趋势.
关键词：超硬薄膜 硬质涂层 金刚石薄膜 
第一性原理计算Fcc-Cr_(1-x)Si_xN的调幅分解被引量：1
《河北大学学报（自然科学版）》2010年第5期508-511,579,共5页高巍 谢飞 
河北省教育厅科研计划项目(z2008304)
基于通过第一性原理计算方法,计算了三元固溶体Fcc-Cr1-xSixN总能,在此基础上计算了其分离能和调幅分解线.结果说明,Fcc-Cr1-xSixN是亚稳相,能够经调幅分解机制分解为Fcc-CrN和Fcc-Si N.组元相形成的应变能小于分离能,不会抑制Fcc-Cr1-x...
关键词：超硬薄膜 调幅分解 第一性原理 
第一性原理计算fcc-Nb_(1-x)Si_xN的调幅分解被引量：1
《材料导报》2010年第14期78-80,共3页牛建钢 丁振君 高巍 谢飞 田晓 
河北省教育厅科研计划项目(z2008304);河北省教育厅科学研究项目(z2009308)
通过第一性原理计算方法计算了三元固溶体fcc-Nb1-xSixN的总能,在此基础上计算了其分离能和调幅分解线。结果表明,fcc-Nb1-xSixN是亚稳相,能经调幅分解机制分解为fcc-NbN和fcc-SiN。组元相形成的应变能小于分离能,不会抑制fcc-Nb1-xSix...
关键词：超硬薄膜 氮化物 调幅分解 第一性原理 
第一性原理计算B在TiN(111)表面的吸附特性被引量：1
《化学工程与装备》2010年第6期24-25,213,共3页高巍 谢飞 
河北省教育厅资助的课题(项目编号:z2008304)
利用第一性原理赝势波方法计算了B原子在TiN(111)表面的吸附特性。给出了B原子位于顶位、面心立方位、六方密堆位和桥位时,各吸附构型的吸附能、层间距、键长、电子结构计算结果。
关键词：超硬薄膜 氮化物 吸附 
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