郑哲

作品数：1被引量：6H指数：1
导出分析报告
供职机构：中国科学技术大学更多>>
发文主题：ICP夹层电感耦合等离子体源等离子体光谱更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《物理学报》更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
射频电感耦合夹层等离子体中的模式转换被引量：6
《物理学报》2012年第19期337-342,共6页杜寅昌 曹金祥 汪建 郑哲 刘宇 孟刚 任爱民 张生俊 
本文利用微波相位法和光谱诊断法,研究了ICP放电等离子体在圆台状夹层等离子体中E模和H模相互转换的物理现象.E模和H模的之间转换过程是一个瞬间突变的,转换点的输入功率随真空室压强的变化而变化.H模向E模转换的阈值功率低于E模向H模...
关键词：ICP放电 E—H模 等离子体源 等离子体光谱 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部