王佩瑶

作品数：1被引量：9H指数：1
导出分析报告
供职机构：东南大学更多>>
发文主题：微悬臂梁MEMS粘附可靠度血液灌注更多>>
发文领域：电子电信医药卫生建筑科学更多>>
发文期刊：《传感技术学报》更多>>
所获基金：电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
MEMS微悬臂梁在冲击下的粘附失效预测被引量：9
《传感技术学报》2006年第05A期1602-1605,共4页王佩瑶 唐洁影 余存江 恩云飞 师谦 
国防科技重点实验室基金资助项目:电子元器件可靠性物理及其应用技术国家级重点实验室项目(51433030105JW0601)
MEMS(Micro-electronics Mechanical System)的可靠性已经成为它能否成功地实现商品化的一个重要问题.多晶硅微悬臂梁是MEMS中的一个基本结构,阐述了多晶硅微悬臂梁的粘附失效机理,并利用宏观机械中的理论和可靠性分析方法对表面微加工...
关键词：MEMS 微悬臂梁 粘附失效 可靠度 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部