佘清

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：苏州大学物理科学与技术学院（能源学院）更多>>
发文主题：磁控溅射DLCSIC血液相容性过渡层更多>>
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SiC过渡层制备温度对碳化硅/氟化类金刚石复合薄膜血液相容性的影响被引量：2
《物理学报》2014年第18期327-335,共9页佘清 江美福 钱侬 潘越 
国家自然基金(批准号:11275136)资助的课题~~
以316L不锈钢为基底,SiC晶体为靶材,Ar为源气体,采用磁控溅射法在不同温度下制备出系列SiC过渡层.然后以高纯石墨作靶,Ar和CHF_3为源气体,在同一工艺条件下再续镀一层氟化类金刚石(F-DLC)薄膜,形成SiC/F-DLC复合薄膜.研究表明,相比于F-...
关键词：磁控溅射 血液相容性 附着力 SIC F—DLC复合薄膜 
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