刘文军

作品数：1被引量：1H指数：1
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发文主题：光学薄膜离子束辅助沉积冷阴极应力更多>>
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宽束冷阴极和端部霍尔离子源对薄膜透过率和应力的影响被引量：1
《应用光学》2005年第2期51-53,共3页刘文军 弥谦 秦君君 方勇 杨利红 
　在宽束冷阴极离子源和端部霍尔离子源辅助沉积情况下,利用南光ZZS700-1/G箱式镀膜机,通过实验分别验证了这两种离子束辅助沉积对光学膜层透过率和应力的影响。通过对大量实验数据进行分析,得出利用低能量和大电流离子束辅助沉积光学...
关键词：宽束冷阴极离子源 端部霍尔离子源 离子束辅助沉积 光学薄膜 
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