吕利

作品数：2被引量：4H指数：2
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供职机构：中国科学院苏州纳米技术与纳米仿生研究所更多>>
发文主题：电荷调制器电路太赫兹SET更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》更多>>
所获基金：中国科学院科研装备研制项目国家自然科学基金中央高校基本科研业务费专项资金江苏省产学研联合创新资金项目更多>>
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单电子晶体管用于电荷检测的研究被引量：3
《微纳电子技术》2014年第10期617-622,共6页苏丽娜 吕利 李欣幸 秦华 顾晓峰 
国家自然科学基金资助项目(11074280);中国科学院科研装备研制项目(YZ201152);中央高校基本科研业务费专项资金(JUSRP51323B;JUDCF12032);江苏省产学研联合创新资金资助项目(BY2013015-19);江苏高校优势学科建设工程资助项目(PAPD);江苏省普通高校研究生创新计划资助项目(CXLX12_0724)
单电子晶体管可用作超灵敏电荷计进行高灵敏电荷检测。首先建立了单电子晶体管电荷检测的电路模型,阐释了其电荷检测机制;然后利用COMSOL和MATLAB软件对检测过程进行了模拟研究,分析了不同电荷量和检测距离时单电子晶体管库仑岛的电势,...
关键词：单电子晶体管(SET) 库仑岛 电荷计 电荷检测 静电耦合 
硅基单电子晶体管的可控制备被引量：2
《微纳电子技术》2013年第3期133-136,171,共5页吕利 孙建东 李欣幸 秦华 
国家自然科学基金资助项目(11074280);中国科学院科研装备研制项目(YZ201152)
采用电子束曝光、感应耦合等离子体刻蚀和热氧化等工艺技术,通过独特的图形反转设计,即在电子束曝光时采用负的曝光图形,并以电子束曝光的光刻胶作为掩膜进行干法刻蚀,通过后续的干法热氧化等工艺,在磷离子重掺杂的绝缘体上硅基底上成...
关键词：单电子晶体管(SET) 绝缘体上硅(SOI) 库仑阻塞 电子束曝光 
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