吴超敏

作品数：2被引量：5H指数：1
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供职机构：厦门大学物理与机电工程学院半导体光子学研究中心更多>>
发文主题：ALN高反射率分布布拉格反射镜金属有机物化学气相沉积MOCVD生长更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《光电子．激光》《半导体光电》更多>>
所获基金：国家高技术研究发展计划更多>>
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蓝光波段高反射率AlN／GaN分布布拉格反射镜的制作
《半导体光电》2009年第4期555-557,561,共4页吴超敏 尚景智 张保平 余金中 王启明 
国家“863”计划资助项目(2006AA03Z409)
采用金属有机物化学气相沉积方法制备了蓝光波段高反射率AlN/GaN分布布拉格(DBR)反射镜。利用金相显微镜、扫描电子显微镜、原子力显微镜以及分光光度计等测量手段对样品的物理特性进行了分析表征。结果显示样品的表面有少量圆形台面结...
关键词：金属有机物化学气相沉积 分布布拉格反射镜 高反射率 氮化物 
MOCVD生长高反射率AlN/GaN分布布拉格反射镜被引量：5
《光电子．激光》2008年第12期1592-1594,共3页尚景智 张保平 吴超敏 蔡丽娥 张江勇 余金中 王启明 
国家高技术研究“863”计划资助项目(2006AA03Z409)
利用金属有机物化学气相沉积(MOCVD)方法在蓝宝石c面衬底上制备出高反射率AlN/GaN分布布拉格反射镜(DBR)。利用分光光度计测量,在418 nm附近最大反射率达到99%。样品表面显微照片显示,有圆弧形缺陷和少量裂纹出现;在缺陷和裂纹以外的区...
关键词：金属有机物化学气相沉积(MOCVD) 分布布拉格反射镜(DBR) 高反射率 氮化物 
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