周立兵

作品数:2被引量:10H指数:1
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供职机构:武汉邮电科学研究院更多>>
发文主题:严格耦合波理论亚波长光栅亚波长反应离子刻蚀集成光学更多>>
发文领域:电子电信理学机械工程更多>>
发文期刊:《光学学报》《Journal of Semiconductors》更多>>
所获基金:国家高技术研究发展计划更多>>
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一种亚波长偏振分波/合波器的研制被引量:9
《光学学报》2006年第7期1048-1052,共5页张亮 李承芳 刘文 周立兵 吴国阳 王定理 
针对传统偏振分束器窄波段、窄角度范围的不足,研制了一种在宽波段宽角度范围内具有180°分光功能的偏振分束器/耦合器。该器件基于线栅偏振器和亚波长光栅结构原理设计,利用半导体工艺的刻蚀技术制作。利用一维金属线栅对入射电磁波的...
关键词:集成光学 偏振分束器 反应离子刻蚀 严格耦合波理论 亚波长光栅 消光比 
Optimization of Plasma Etching Parameters and Mask for Silica Optical Waveguides被引量:1
《Journal of Semiconductors》2005年第6期1104-1110,共7页周立兵 刘文 吴国阳 
国家高技术研究发展计划资助项目(批准号:2001AA312020)~~
Optical waveguides in silica-on-silicon are one of the key elements in optical communications.The processes of deep etching silica waveguides using resist and metal masks in RIE plasma are investigated.The etching res...
关键词:reactive ion etching silica-on-silicon optical waveguides 3D neural network 
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