王凤生

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不同状态的SiAl丝对混合集成电路键合点根部损伤的影响
《电子元器件应用》2002年第5期56-58,共3页李自学 王凤生 张承军 
键合点根部损伤是Al丝超声键合工艺中最常见的问题之一,严重的根部损伤不仅使焊点的键合强度降低,甚至会使键合点失效。本文通过优化键合机器的工艺参数,分析键合丝的组成成份和采取不同的退火条件,研究Al丝超声键合中键合点根部损伤的...
关键词：SiAl丝 混合集成电路 根部损伤 键合点 
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