吴娜

作品数：20被引量：73H指数：7
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：全息光栅衍射效率离子束刻蚀光栅离子束更多>>
发文领域：机械工程理学电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《光谱学与光谱分析》《发光学报》《光学精密工程》《光学学报》更多>>
所获基金：国家重大科学仪器设备开发专项国家自然科学基金吉林省科技发展计划基金中国科学院重大科研装备研制项目更多>>
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基于衍射光栅的高精度干涉星敏感器的理论分析被引量：7
《中国光学》2021年第6期1368-1377,共10页张淑芬 姜珊 董磊 王建立 吴娜 李文昊 
科技部重点研发计划资助项目(No.2018YFF01011000);国家自然基金资助项目(No.61905244);广东省重点领域研发计划项目(No.201913010144001);吉林省与中国科学院科技合作高技术产业化专项资金项目(No.2020SYHZ0033)。
为克服传统星敏感器精度与视场、体积、质量等参数难以兼顾的问题,本文研究了一种基于衍射光栅的高精度干涉星敏感器结构。利用角谱理论,建立了星光入射角度与探测器上像点质心位置、像点能量之间的数学模型,确定了干涉星敏感器利用像...
关键词：干涉星敏感器 光栅 衍射干涉 高精度 
基于波片棱镜组合能量调节的切趾光纤光栅被引量：1
《吉林大学学报（信息科学版）》2020年第5期523-528,共6页郑钟铭 国旗 吴娜 于永森 李文昊 
国家自然科学基金资助项目(61905244)。
为提高飞秒激光制备高反射率FBG(Fiber Bragg Grating)的边模抑制比,提出了一种基于组合二分之一波片和格兰棱镜调节激光能量的加工方法,制备出了高反射率和高边模抑制比的切趾光纤光栅。通过上位机输入切趾函数模型,实时精确调节步进...
关键词：飞秒激光 二分之一波片 格兰棱镜 切趾光纤光栅 切趾函数 
紫外高分辨率像散校正型罗兰全息光栅设计被引量：2
《光谱学与光谱分析》2017年第11期3616-3620,共5页赵旭龙 巴音贺希格 李文昊 姜岩秀 吴娜 张桐 
国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ120023)资助
为了降低紫外高分辨率罗兰光栅的像散对光谱像高展宽的影响,提出了在罗兰圆上使用球面波非对称曝光设计思路。推导完全校正离焦和子午彗差的表达式,讨论了多种罗兰光栅记录结构的局限性,优选适合校正紫外高分辨率罗兰光栅的优化方法。...
关键词：罗兰光栅 像散校正 光栅设计 
在线诊断光谱仪用光栅制作误差对光谱成像的影响及补偿被引量：2
《光谱学与光谱分析》2016年第3期857-863,共7页姜岩秀 巴音贺希格 杨硕 赵旭龙 吴娜 李文昊 
国家重大科学仪器设备开发专项(2011YQ120023)资助
为制作应用于在线诊断光谱仪的高分辨率光栅,通过分析记录参数误差对光栅刻线密度、聚焦曲线、谱像宽度等的影响及规律,提出相应的补偿方法是必要前提。基于费马原理、光程差理论及像差理论,分析了光栅光谱性能对记录参数误差的影响及...
关键词：平面变栅距全息光栅 分辨率 刻线密度误差 聚焦曲线 谱像宽度 
极紫外波段变栅距光栅刻槽密度变化及光谱分辨能力分析被引量：7
《发光学报》2015年第9期1094-1099,共6页李文昊 姜岩秀 吴娜 张桐 王鹍 
国家重大科学仪器设备开发专项资金(2011YQ120023)资助项目
针对应用于50~150 nm波段的变栅距光栅,采用球面波曝光系统进行优化设计,分析了不同宽度光栅的刻槽密度变化和光谱分辨能力。理论分析结果表明,光栅宽度为4 mm时,理论分辨能力高于14 000;光栅宽度为10 mm时,理论分辨能力约为9 000;光栅...
关键词：变栅距光栅 球面波 刻槽密度 光谱分辨能力 
自由电子激光器用极紫外波段平面变栅距光栅被引量：6
《光学精密工程》2015年第8期2117-2124,共8页姜岩秀 巴音贺希格 赵旭龙 杨硕 吴娜 
国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.2011YQ120023)
针对极紫外波段自由电子激光器（大连相干光源,DCLS）对高分辨能力平面变栅距光栅的需求,基于光程差以及像差原理构建了极紫外平面变栅距全息光栅。采用改进的局部优化算法给出了平面变栅距光栅的记录参数,利用全息曝光技术在硅光栅基...
关键词：自由电子激光器 平面变栅距光栅 全息曝光 刻线密度误差 分辨能力 
宽波段全息-离子束刻蚀光栅的设计及工艺被引量：9
《光学精密工程》2015年第7期1978-1983,共6页吴娜 谭鑫 于海利 张方程 
国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.2011YQ120023)
设计和制作了一种在同一基底上具有多闪耀角的宽波段全息-离子束刻蚀光栅。提出了组合形成宽波段全息-离子束刻蚀光栅的分区设计方法,优化了3种闪耀角混合的宽波段全息光栅设计参数,并利用反应离子束刻蚀装置对该光刻胶掩模进行刻蚀图...
关键词：全息光栅 宽波段光栅 离子束刻蚀 刻蚀模拟 
极紫外波段平面变栅距全息光栅的优化设计被引量：3
《光学学报》2015年第1期37-47,共11页姜岩秀 巴音贺希格 杨硕 赵旭龙 李文昊 吴娜 
国家重大科学仪器设备开发专项"高端全息光栅研制"(2011YQ120023)
为制作应用于极紫外波段（50～150nm）的变栅距全息光栅，提出了一种新的应用于球面波曝光系统的优化算法，即改进的局部优化算法。根据仪器使用要求构建了期望刻线密度函数，并以此建立优化目标函数，其特点是使四个目标函数转化为多...
关键词：光栅 变栅距全息光栅 刻线密度 改进的局部结合优化算法 分辨率 
离子束刻蚀光栅掩模图形转移分析
《长春工业大学学报》2014年第6期628-632,共5页吴娜 
国家重大科研装备开发专项(2011YQ120023)
依据特征曲线法推导出非晶体表面的离子束刻蚀模拟方程;结合全息光栅的刻蚀特点开发出离子束刻蚀模拟程序。模拟程序获得的模拟刻蚀参数可以用于类矩形光栅的刻蚀工艺参数设计,准确地描述不同工艺过程、工艺参数对最终刻蚀结果的影响,...
关键词：衍射效率 刻蚀模拟 全息光栅 
单色仪与成像光谱仪的交互光谱定标被引量：9
《光学精密工程》2014年第10期2585-2591,共7页曹海霞 吴娜 冯树龙 潘明忠 张永超 崔继承 
国家自然科学基金资助项目(No.61108032);国家重大科研装备研制项目(No.ZDYZ2008-1);中国科学院重大科研装备研制项目(No.YZ200804);国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(No.11YQ120023);吉林省重大科技攻关项目(No.09ZDGG005);吉林省科技发展计划资助项目(No.20126012)
为了提高成像光谱仪的光谱定标精度,降低定标过程的复杂度,本文基于单色仪扫描定标法的原理,提出了交互光谱定标的思想,设计了适用于单色仪与成像光谱仪的交互光谱定标系统.分别对单色仪与成像光谱仪进行了光谱定标实验,并对定标数据进...
关键词：单色仪 成像光谱仪 交互光谱定标 定标精度 
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