李克武

作品数：56被引量：139H指数：7
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基于短波红外偏振成像的集成电路芯片污染缺陷检测
《应用光学》2025年第2期388-394,共7页贺泽斌 陈昌 杨君聖 杨秉林 王爽 李克武 吴倩楠 
国家自然科学基金(62205310,62205309)。
针对集成电路芯片污染缺陷高速、高精度的检测需求,设计并研制了一种基于短波红外显微成像技术与偏振测量技术相结合的高精度短波红外偏振显微成像系统。检测光源透射穿过样品,样品偏振光经过显微镜收集,入射到由波片和检偏器构成的偏...
关键词：短波红外 偏振成像 集成电路芯片 偏振图像融合 缺陷检测 
弹光调制器延迟量幅值分布测量
《应用光学》2025年第2期404-411,共8页昝薛博 李克武 陈玉龙 薛紫阳 王志斌 
国家自然科学基金(62205310)。
为了获得弹光调制器延迟量幅值在整个通光孔径上的分布,进行了其延迟量分布规律理论和仿真分析,并在此基础上搭建了实验测量系统进行了验证实验。测量系统首先通过带有偏振器件的光路生成调制信号,其次通过数字锁相器将接收到的信号与...
关键词：弹光调制器 延迟量 二维分布 定标测量 
双折射测量系统的弹光调制器原位定标及数据处理研究
《激光杂志》2025年第3期76-83,共8页王爽 李克武 
国家自然科学基金(No.62205309、62205310)。
针对高精度双折射测量需求,开展了双弹光调制型双折射测量研究,重点解决测量系统中弹光调制器(Photoelastic Modulator,PEM)在线原位定标及数据处理问题。运用数字锁相技术完成了调制信号的多个频率成分提取,利用各频率调制信号幅值的比...
关键词：双折射测量 弹光调制 相位幅值定标 数据处理 
光场偏振矢量三维测量
《激光与光电子学进展》2025年第2期104-113,共10页崔波渝 贺泽斌 吴倩楠 李克武 王志斌 
国家自然科学基金(62205309,62205310)。
为满足激光通信、激光雷达和宇宙辐射等复杂光场偏振矢量测量的需求,提出一种新型的光场偏振矢量三维测量方法及装置。该装置通过由偏振片与波片构成的偏振分析系统以及夏克-哈特曼波前传感器,分析光场中各点的偏振状态并测量光场的波...
关键词：偏振矢量 三维测量 全偏振成像 斯托克斯矢量 波前传感 
弹光调制器相频特性分析与稳定控制技术被引量：2
《激光杂志》2024年第7期36-41,共6页刘坤 李克武 李坤钰 王爽 王志斌 
国家自然科学基金(No.62205310、62205309)。
针对弹光调制器(Photoelastic Modulator,PEM)在高压驱动下的谐振频率漂移问题,研究了一种基于PEM谐振相位跟踪的稳定控制技术。建立了PEM与其谐振匹配回路的等效电路模型,推导了PEM驱动电压的幅频、相频关系,以及PEM谐振频率与驱动电...
关键词：相频特性 弹光调制器 相位调制 频率跟踪 稳定控制 
用于应力双折射分布测量的多构型扫描系统设计
《应用光学》2024年第3期608-615,共8页岐临凯 李克武 李坤钰 王志斌 李晋华 
国家自然科学基金(62205310);山西省自然科学基金(201901D211234)。
为了实现对不同构型光学样品进行应力双折射分布测量,在使用双弹光调制方法的基础上,设计了一种应用于双折射分布测量的多构型扫描系统。该系统在保证测量的高分辨率的同时,通过保持激光器静止,同时使样品进行快速移动,提高了测量精度...
关键词：多构型扫描系统 弹光调制 应力双折射 上位机设计 
弹光调制器动态参数测量与高效驱动匹配研究被引量：2
《应用光学》2024年第2期415-421,共7页刘坤 李克武 王爽 王志斌 张易琨 
国家自然科学基金(62205310,62205309)。
为了提高弹光调制器(photoelastic modulator,PEM)的驱动效率,提出了一种基于PEM动态参数测量的阻抗匹配参数计算方法。理论分析了PEM调制幅度与驱动电压大小的关系,建立了PEM及其谐振匹配网络的等效电路模型,在此基础上推导了PEM谐振...
关键词：弹光调制器 驱动效率 动态参数 阻抗匹配 
基于双弹光调制的激光波长测量方法被引量：1
《光学技术》2024年第2期182-187,共6页张喆 王志斌 李克武 王爽 李晋华 
国家自然科学基金(62205310,62205309)。
波长作为激光器的重要参数,在军事应用和医疗应用中需要对波长进行测量,传统的波长测量装置不仅造价昂贵,操作也很繁琐。提出了一种基于双弹光调制技术的波长测量方法,实现对波长的快速测量,每200ms可实现一个数据点的测量。待测激光通...
关键词：应用光学 弹光调制 波长 双折射 相位延迟量 
应用双弹光级联差频调制的红外材料应力缺陷检测被引量：1
《红外与毫米波学报》2024年第1期126-133,共8页李克武 王爽 李孟委 王志斌 
国家自然科学基金(62205309,62205310)。
为了实现对Si、Ge、GaAs等红外材料应力缺陷检测,采用两个工作在不同频率的光弹性调制器级联,构成偏振测量系统。应力缺陷引入的双折射延迟量和快轴方位角两个参数,被加载到偏振测量系统调制信号中;利用数字锁相技术同时获取调制信号的...
关键词：应力缺陷 弹光调制 快轴方位角 延迟量 
基于双弹光级联差频调制的波片参数测量研究被引量：1
《光子学报》2023年第11期182-191,共10页王爽 崔志英 冯华君 李克武 王志斌 
国家自然科学基金(Nos.62205309,62205310)。
为了实现对波片快轴方位角和延迟量参数快速、高精度测试,提出了一种基于双弹光级联差频调制的波片参数测量方案。选用两个工作频率不相同的弹光调制器级联,构成偏振分析测量装置。波片的两个参数被加载到偏振分析装置的调制信号中,采...
关键词：弹光调制 差频调制 波片 快轴方位角 延迟量 
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