张娜

作品数：6被引量：14H指数：2
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供职机构：内蒙古师范大学物理与电子信息学院更多>>
发文主题：光致发光等离子体增强化学气相沉积SINX硅氮化硅薄膜更多>>
发文领域：电气工程理学电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《光谱学与光谱分析》《人工晶体学报》《激光技术》《电子元件与材料》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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氮流量在高氢氛围中对富硅氮化硅薄膜材料结构及其发光特性的影响被引量：2
《光谱学与光谱分析》2016年第7期2048-2054,共7页张林睿 周炳卿 张娜 路晓翠 乌仁图雅 高爱明 
国家自然科学基金项目(51262022);内蒙古师范大学“十百千”人才工程项目(RCPY-2-2012-K-041)资助
采用等离子体增强化学气相沉积技术,以N_2掺入到SiH_4和H_2的沉积方式,分别在玻璃和N型单晶硅片(100)衬底上制备富硅氮化硅薄膜。通过紫外-可见光吸收光谱、傅里叶变换红外吸收光谱(FTIR光谱)、拉曼光谱和光致发光谱(PL谱)分别表征掺氮...
关键词：等离子体化学气相沉积 SiNx∶H薄膜 结构 光致发光 
a-SiN_x:H薄膜的热丝化学气相沉积及微结构研究被引量：2
《激光技术》2016年第3期413-416,共4页张娜 周炳卿 张林睿 路晓翠 
国家自然科学基金资助项目(51262022);内蒙古师范大学"十百千"人才工程资助项目(RCPY-2-2012-K-041)
为了研究热丝温度对a－SiNx：H薄膜性能的影响，采用热丝化学气相沉积法，以SiH4，NH3，H2为反应气源，改变热丝温度沉积薄膜。通过紫外－可见光吸收谱、傅里叶红外透射光谱、光致发光光谱等测试手段对薄膜发光特性、微观结构及键合情...
关键词：薄膜 SiNx:H 光致发光光谱 键合结构 热丝化学气相沉积 
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