张娜

作品数：6被引量：14H指数：2
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供职机构：内蒙古师范大学物理与电子信息学院更多>>
发文主题：光致发光等离子体增强化学气相沉积SINX硅氮化硅薄膜更多>>
发文领域：电气工程理学电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《光谱学与光谱分析》《人工晶体学报》《激光技术》《电子元件与材料》更多>>
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化学气相
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作品数：4425被引量：9123H指数：24
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硅薄膜
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光致
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光致发光
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光学
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等离子体增强化学气相沉积
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相关主题：石墨烯 PECVD 等离子体增强 衬底 等离子体
相关领域：电子电信 理学
光学性
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相关主题：光学性能 光学性质 光学 透镜 电子结构
相关领域：理学 一般工业技术
SINX
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作品数：207被引量：158H指数：6
相关主题：X PECVD PASSIVATION SIN H
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