张娜

作品数：6被引量：14H指数：2
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供职机构：内蒙古师范大学物理与电子信息学院更多>>
发文主题：光致发光等离子体增强化学气相沉积SINX硅氮化硅薄膜更多>>
发文领域：电气工程理学电子电信一般工业技术更多>>
发文期刊：《光谱学与光谱分析》《人工晶体学报》《激光技术》《电子元件与材料》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
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氮流量在高氢氛围中对富硅氮化硅薄膜材料结构及其发光特性的影响被引量：2
《光谱学与光谱分析》2016年第7期2048-2054,共7页张林睿 周炳卿 张娜 路晓翠 乌仁图雅 高爱明 
国家自然科学基金项目(51262022);内蒙古师范大学“十百千”人才工程项目(RCPY-2-2012-K-041)资助
采用等离子体增强化学气相沉积技术,以N_2掺入到SiH_4和H_2的沉积方式,分别在玻璃和N型单晶硅片(100)衬底上制备富硅氮化硅薄膜。通过紫外-可见光吸收光谱、傅里叶变换红外吸收光谱(FTIR光谱)、拉曼光谱和光致发光谱(PL谱)分别表征掺氮...
关键词：等离子体化学气相沉积 SiNx∶H薄膜 结构 光致发光 
a-SiN_x:H薄膜的热丝化学气相沉积及微结构研究被引量：2
《激光技术》2016年第3期413-416,共4页张娜 周炳卿 张林睿 路晓翠 
国家自然科学基金资助项目(51262022);内蒙古师范大学"十百千"人才工程资助项目(RCPY-2-2012-K-041)
为了研究热丝温度对a－SiNx：H薄膜性能的影响，采用热丝化学气相沉积法，以SiH4，NH3，H2为反应气源，改变热丝温度沉积薄膜。通过紫外－可见光吸收谱、傅里叶红外透射光谱、光致发光光谱等测试手段对薄膜发光特性、微观结构及键合情...
关键词：薄膜 SiNx:H 光致发光光谱 键合结构 热丝化学气相沉积 
氢流量对富硅-氮化硅薄膜键结构及光学性质的影响被引量：4
《人工晶体学报》2015年第12期3449-3454,共6页乌仁图雅 周炳卿 张林睿 高爱明 张娜 
国家自然科学基金(51262022);内蒙古师范大学"十百千"人才工程资助项目(RCPY-2-2012-K-041)
采用等离子体增强化学气相沉积法,以SiH_4、NH_3和H_2为反应气体,通过改变氢流量来制备富硅-氮化硅薄膜。利用傅里叶变换红外吸收光谱、紫外-可见光透射光谱、X射线衍射谱和光致发光谱对薄膜的结构与性质进行表征。实验发现,适当地增加H...
关键词：等离子增强化学气相沉积 富硅-氮化硅薄膜 非晶硅量子点 光致发光 
衬底和退火温度对多晶硅薄膜结构及光学性质影响被引量：3
《电子元件与材料》2015年第11期35-39,共5页路晓翠 周炳卿 张林睿 张娜 
国家自然科学基金资助项目(No.51262022);研究生创新基金项目(No.CXJJS13043)
通过射频等离子体增强化学气相沉积(RF-PECVD)技术与退火处理制备多晶硅薄膜,研究了衬底和退火温度对所制薄膜的结构及光学性质的影响。本次试验最大的晶粒尺寸是在衬底温度为250℃获得,考虑薄膜表面的质量,最佳的退火温度为635℃,衬底...
关键词：等离子体增强化学气相沉积 多晶硅薄膜 衬底温度 退火温度 薄膜表面 结构和光学性质 
射频功率和沉积气压对非晶硅薄膜材料性能的影响被引量：1
《内蒙古师范大学学报（自然科学汉文版）》2015年第3期347-351,共5页张娜 李海泉 周炳卿 张林睿 张丽丽 
国家自然科学基金资助项目(51262022);内蒙古师范大学2013年度研究生科研创新基金项目(CXJJS13043)
采用等离子体增强化学气相沉积技术,通过改变射频功率与沉积气压两个参数来沉积非晶硅薄膜材料,并研究了变化参数对薄膜沉积速率、晶化情况、氢含量、光电学性质以及材料表面形貌等的影响.结果表明:射频功率在较低的范围内变化时,对薄...
关键词：氢化非晶硅薄膜 射频功率 沉积气压 光电特性 
PECVD沉积硅薄膜退火性质的分析被引量：2
《人工晶体学报》2014年第12期3145-3150,共6页张林睿 周炳卿 高玉伟 张龙龙 张娜 路小翠 
国家自然科学基金(51262022);内蒙古师范大学“十百千”人才工程资助项目(RCPY-2-2012-K-041)
利用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）制备硅薄膜,对硅薄膜进行退火处理。通过X射线衍射谱,拉曼光谱以及傅里叶变换红外吸收光谱,研究了退火温度在550~700℃范围内,硅薄膜退火过程中的生长特性。实验表明：多晶硅的晶粒尺寸并不随着...
关键词：等离子体增强化学气相沉积 硅薄膜 退火 
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