饶先花

作品数:2被引量:5H指数:2
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供职机构:中国科学院重庆绿色智能技术研究院更多>>
发文主题:聚酰亚胺偏振片偏振太赫兹衍射透镜更多>>
发文领域:理学机械工程电子电信经济管理更多>>
发文期刊:《光学精密工程》《光子学报》更多>>
所获基金:国家自然科学基金更多>>
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聚酰亚胺薄膜的反应离子刻蚀抛光被引量:2
《光学精密工程》2019年第2期302-308,共7页杨正 靳志伟 陈建军 饶先花 尹韶云 吴鹏 
国家自然科学青年基金资助项目(No.61605208)
为进一步提高聚酰亚胺薄膜光学器件的表面质量,提出了一种聚酰亚胺薄膜的反应离子刻蚀抛光方法,对其抛光原理和抛光实验进行了研究。利用光刻胶流体的低表面张力及流动特性,通过在聚酰亚胺薄膜表面涂覆光刻胶对其表面缺陷进行填补;结合...
关键词:抛光 聚酰亚胺 光刻胶 反应离子刻蚀 
大面积低损耗薄膜衬底太赫兹偏振片被引量:3
《光子学报》2015年第9期118-122,共5页毛洪艳 许红梅 夏良平 王思江 饶先花 李薇 沈俊 魏东山 赵国忠 崔洪亮 杜春雷 
国家自然科学基金(Nos.31400625,21407145);重庆市基础与前沿项目(No.cstc2013jcyjC00001)资助~~
以硬质硅片作为承载体,在其表面合成性质可控的聚合物薄膜,利用光刻工艺制作微结构,将薄膜与硅片剥离,获得在柔性衬底上大面积均匀的太赫兹器件.以聚酰亚胺薄膜为衬底的太赫兹偏振片的测试结果表明:在o.1THz处,器件的偏振消光...
关键词:太赫兹波 偏振片 光刻 聚合物薄膜 光栅 大面积 偏振 
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