陈惠敏

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等离子体源离子注入表面改性
《纺织基础科学学报》1992年第4期378-384,共7页吴知非 施芸城 陈英方 陈惠敏 李群林 
国家自然科学基金
研究了等离子体源离子注入对聚酰亚胺薄膜电性能的改变。处理后该薄膜面电阻率下降6个数量级。由X光电子能谱及全反射衰减红外谱分析,注入时聚酰亚胺表面分子链上的C=0、C—H、C—N、C=C等化学键被离子部分地打断而形成富碳层,并有无定...
关键词：等离子体源 离子注入 表面改性 聚酰亚胺 薄膜 
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