郭沫然

作品数：1被引量：1H指数：1
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一种离线光学邻近效应匹配方法的研究和仿真被引量：1
《微纳电子技术》2015年第3期197-203,共7页宋之洋 郭沫然 苏晓菁 刘艳松 粟雅娟 韦亚一 
国家科技重大专项资助项目(2013ZX02303)
目前小技术节点的光学邻近效应校正(OPC)过分依赖光刻机与光刻工艺的属性,量产时难以在不同型号光刻机间转移,而国内芯片制造厂光刻机种类繁杂,不可避免地需要解决工艺转移的问题。针对上述问题,以不同光刻机间的光学邻近效应匹配为研...
关键词：光刻 计算光刻 光学邻近效应校正(OPC) 光学邻近效应匹配 工艺窗口控制 
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