云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 王小龙

王小龙: 作品数：1被引量：4H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：中国科学院半导体研究所更多>>; 发文主题：SOI光电子集成电路光电子集成阵列波导光栅更多>>; 发文领域：电子电信更多>>; 发文期刊：《功能材料与器件学报》更多>>; 所获基金：国家自然科学基金国家重点基础研究发展计划更多>>

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SOI光电子集成被引量：4: 《功能材料与器件学报》2003年第1期1-7,共7页余金中严清峰夏金松王小龙王启明; 国家自然科学基金(No.69896260;69990540);国家科技部"973"计划(No.G2000-03-66)资助项目; SOI(Silicon-on-Insulator)光电子集成已成为十分引人注目的研究课题,其工艺与CMOS工艺完全兼容,可以实现低成本的SOI基整片集成光电子回路。本文综述了近几年来SOI集成光电子器件的发展以及一些最新的研究进展,着重分析几种最新型光无...; 关键词：SOI 光电子集成电路光波导 SOI光波导开关阵列波导光栅 SOI基光探测器