王同东

作品数：1被引量：5H指数：1
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供职机构：西安交通大学机械工程学院机械制造系统工程国家重点实验室更多>>
发文主题：MEMS梁结构谐振式微悬臂梁微悬臂更多>>
发文领域：自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《仪表技术与传感器》更多>>
所获基金：中央高校基本科研业务费专项资金陕西省科学技术研究发展计划项目国家重大科学仪器设备开发专项国家自然科学基金更多>>
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微悬臂梁结构的谐振式MEMS黏度传感器被引量：5
《仪表技术与传感器》2015年第5期8-10,27,共4页热合曼.艾比布力 胡英杰 王同东 赵立波 赵玉龙 蒋庄德 
国家自然科学基金项目(51375378;91323303);陕西省科学技术研究发展计划项目(2012KJXX-01);中央高校基本科研业务费专项资金资助项目(2012jdgz08);科技重大专项资助项目(2011ZX04004-061);国家重大科学仪器设备开发专项资助项目(2012YQ03026101);111引智计划资助项目(B12016)
文中研究了谐振方法测量流体黏度的测量机理,采用MEMS工艺设计并加工了微悬臂梁结构的流体黏度传感器芯片,芯片作为振动体采用电磁激励和压阻检测的方法进行粘度测量。设计了封装结构并搭建了实验系统,在室温环境20℃和25℃2个温度点下...
关键词：MEMS 黏度 微悬臂梁 谐振 传感器 
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