杨扬

作品数：4被引量：5H指数：2
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供职机构：中国科学院深圳先进技术研究院更多>>
发文主题：金刚石复合材料真空镀膜技术真空镀膜金刚石薄膜更多>>
发文领域：一般工业技术化学工程金属学及工艺电子电信更多>>
发文期刊：《科学通报》《集成技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金深圳市基础研究计划项目更多>>
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一维纳米金刚石的制备、性质及应用被引量：2
《科学通报》2019年第35期3665-3685,共21页杨扬 张文军 
国家自然科学基金(51772318,51872249);香港GRF(General Research Fund)(CityU 11307619)资助
一维金刚石纳米材料除了具有金刚石固有的物理化学性质以外,其形貌及尺寸的改变也使其拥有一些块体金刚石所没有的特性.如既硬又弹的力学性能、高的比表面积、尖端效应,以及通过掺杂和空位缺陷实现的独特性能等.近年来,一维纳米金刚石...
关键词：金刚石 一维纳米结构 等离子体刻蚀 力学性能 
面向化学气相沉积生长单晶金刚石的高导热嵌入型基片托盘设计及其高质量生长工艺研究
《集成技术》2017年第4期38-48,共11页谷继腾 杨扬 蒋春磊 石磊 牛卉卉 唐永炳 
国家自然科学基金项目(51402344);广东省创新团队项目(2013C090);深圳市技术创新计划技术攻关项目(JSGG20160301173854530);深圳市海外高层次人才创新创业计划(KQJSCX20160301145319);深圳市基础研究项目(JCYJ20160122143847150)
针对高功率密度微波等离子体化学气相沉积法生长单晶金刚石过程中,金刚石籽晶表面温度容易发生漂移的问题,提出了一种新的基片托盘结构设计方法。基片托盘中间采用通孔结构,以避免籽晶底部与钼托盘的直接接触,在基片托盘与水冷台之间、...
关键词：单晶金刚石 同质外延生长 微波等离子体化学气相沉积 基片托盘设计 高功率密度 
硼掺杂对微波等离子体化学气相沉积制备金刚石薄膜高择优取向生长的影响被引量：2
《集成技术》2017年第4期61-69,共9页谷继腾 杨扬 唐永炳 张文军 
国家自然科学基金项目(51402344);广东省创新团队项目(2013C090);深圳市技术创新计划技术攻关项目(JSGG20160301173854530);深圳市海外高层次人才创新创业计划(KQJSCX20160301145319);深圳市基础研究项目(JCYJ20160122143847150)
硼(B)掺杂金刚石薄膜因其优异的电化学性能在电化学传感领域获得了广泛的应用。文章采用微波等离子体化学气相沉积法制备硼掺杂金刚石薄膜,通过硼/碳(B/C)比例和工艺参数的调节,成功制备了具备(100)择优取向的金刚石薄膜,分析了B元素影...
关键词：择优取向 微观形貌 硼掺杂金刚石 二次形核 
热处理工艺对硬质合金表面金刚石薄膜附着性能的影响被引量：1
《集成技术》2017年第4期80-88,共9页谷继腾 杨扬 唐永炳 
国家自然科学基金项目(51402344);广东省创新团队项目(2013C090);深圳市技术创新计划技术攻关项目(JSGG20160301173854530);深圳市海外高层次人才创新创业计划(KQJSCX20160301145319);深圳市基础研究项目(JCYJ20160122143847150)
文章针对提高硬质合金刀具金刚石涂层结合力问题,提出了一种热处理和酸处理相结合的预处理工艺,详细研究和分析了800~1 000℃范围内,热处理温度变化与硬质合金刀具表面形貌、金刚石涂层质量、涂层与刀具间附着力之间的关系。热处理工艺...
关键词：热处理温度 金刚石涂层 附着力 二次形核密度 
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