石磊

作品数：4被引量：9H指数：3
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供职机构：中国科学院深圳先进技术研究院更多>>
发文主题：残余应力单晶金刚石衬底温度弹性模量TI更多>>
发文领域：一般工业技术化学工程更多>>
发文期刊：《集成技术》更多>>
所获基金：国家自然科学基金广东省科技计划工业攻关项目深圳市科技计划项目深圳市基础研究计划项目更多>>
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衬底温度对单晶金刚石同质外延生长的影响规律研究被引量：3
《集成技术》2017年第4期2-9,共8页石磊 蒋春磊 牛卉卉 唐永炳 
国家自然科学基金项目(51302238);广东省创新团队项目(2013C090);广东省科技计划项目(2014A010105032;2014A010106016;2015A010106008;2014A030310226;2014A030310482);深圳市科技计划项目(JSGG20140417113430618;JSGG20140417113430647;JSKF20150925163525547;JSGG20150602143328010);广东省工程中心项目(20151487);深圳市工程实验室项目(20151837);中科院院级科研装备项目(yz201440)
文章采用微波等离子体化学气相沉积法,以单晶金刚石籽晶为衬底进行金刚石外延生长,通过拉曼光谱、扫描电子显微镜及光学显微镜等多种表征测试手段,系统地研究了衬底温度对单晶金刚石同质外延生长的影响机理。研究结果表明,衬底温度是影...
关键词：同质外延生长 衬底温度 单晶金刚石 
Ti和TiN薄膜的制备以及残余应力的测试方法研究被引量：3
《集成技术》2017年第4期20-28,共9页石磊 蒋春磊 唐永炳 
国家自然科学基金项目(51302238);广东省创新团队项目(2013C090);广东省科技计划项目(2014A010105032;2014A010106016;2015A010106008;2014A030310226;2014A030310482);深圳市科技计划项目(JSGG20140417113430618;JSGG20140417113430647;JSKF20150925163525547;JSGG20150602143328010);广东省工程中心项目(20151487);深圳市工程实验室项目(20151837);中科院院级科研装备项目(yz201440)
基底曲率半径法是一种测量薄膜残余应力的常用方法,其中的光杠杆法应用最为广泛。文章在SUS304基底上使用电弧离子镀法制备了不同厚度的钛(Ti)和氮化钛(TiN)薄膜,研究了薄膜的形貌、密度以及物相,基于光杠杆原理分别从正面(正测法)和反...
关键词：薄膜 残余应力 光杠杆法 正测法 背测法 
面向化学气相沉积生长单晶金刚石的高导热嵌入型基片托盘设计及其高质量生长工艺研究
《集成技术》2017年第4期38-48,共11页谷继腾 杨扬 蒋春磊 石磊 牛卉卉 唐永炳 
国家自然科学基金项目(51402344);广东省创新团队项目(2013C090);深圳市技术创新计划技术攻关项目(JSGG20160301173854530);深圳市海外高层次人才创新创业计划(KQJSCX20160301145319);深圳市基础研究项目(JCYJ20160122143847150)
针对高功率密度微波等离子体化学气相沉积法生长单晶金刚石过程中,金刚石籽晶表面温度容易发生漂移的问题,提出了一种新的基片托盘结构设计方法。基片托盘中间采用通孔结构,以避免籽晶底部与钼托盘的直接接触,在基片托盘与水冷台之间、...
关键词：单晶金刚石 同质外延生长 微波等离子体化学气相沉积 基片托盘设计 高功率密度 
薄膜热膨胀系数测试技术研究被引量：3
《集成技术》2017年第4期49-60,共12页石磊 蒋春磊 陈光海 唐永炳 
国家自然科学基金项目(51302238);广东省创新团队项目(2013C090);广东省科技计划项目(2014A010105032;2014A010106016;2015A010106008;2014A030310226;2014A030310482);深圳市科技计划项目(JSGG20140417113430618;JSGG20140417113430647;JSKF20150925163525547;JSGG20150602143328010);广东省工程中心项目(20151487);深圳市工程实验室项目(20151837);中科院院级科研装备项目(yz201440)
热膨胀系数是薄膜的重要热学性能参数,也是薄膜热应力和残余应力计算分析过程中的关键数据。文章基于热诱导弯曲原理,分别采用单基片法和双基片法对氮化钛(TiN)和铝(Al)薄膜的热膨胀系数进行测试,并着重对双基片法的测试误差和适用性进...
关键词：薄膜 热膨胀系数 弹性模量 残余应力 
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