孙振新

作品数：2被引量：4H指数：2
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供职机构：东南大学电子科学与工程学院微电子机械系统教育部重点实验室更多>>
发文主题：MEMS器件模态分析法力电耦合硬件描述语言VHDL-AMS更多>>
发文领域：机械工程电子电信更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》更多>>
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力电耦合MEMS器件非线性行为的模拟被引量：2
《微纳电子技术》2003年第7期48-50,共3页孙振新 黄庆安 李伟华 
大多数MEMS器件 (如梁、膜等 )工作时本身是非线性的 ,因此很难用刚体假设的方法等效为集总参数的宏模型。模态分析法提供了一种有效的方法。本文以静电驱动两端固定梁为例 ,介绍了存在机电耦合时的公式 ,然后利用硬件描述语言VHDL AMS...
关键词：MEMS器件 微电子机械系统 非线性行为 力电耦合 VHDL-AMS 动态宏模型 模态分析法 
MEMS器件VHDL-AMS宏模型被引量：2
《微纳电子技术》2003年第5期33-36,44,共5页孙振新 黄庆安 李伟华 
国家高技术研究发展计划(863计划)重大资助项目(2002A-1-1)
随着MEMS集成度的提高,迫切需要有相应的CAD工具进行系统级的设计与模拟,由于MEMS器件的工作原理包含了多种能量的耦合,宏模型的建立成了系统级设计的“瓶颈”。模拟硬件描述语言(如VHDL-AMS)提供了一种有效的方法,即建立起表示MEMS器...
关键词：MEMS器件 VHDL-AMS宏模型 工作原理 硬件描述语言 电路分析软件 
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