陈启瑾

作品数：1被引量：2H指数：1
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(001)取向硅基底上异质外延金刚石薄膜实验研究被引量：2
《自然科学进展（国家重点实验室通讯）》1995年第2期233-235,共3页杨杰 陈启瑾 林彰达 王利新 金星 张泽 
国家自然科学基金;"八六三"高科技基金;中关村分析测试中心基金;博士后基金
单晶硅基底上异质外延生长单晶金刚石薄膜具有重要的理论和实际意义,有广阔的应用前景。它是世界上技术先进国家重点研究课题之一,也是材料工作者的努力方向。目前金刚石薄膜的外延仅局限于同质外延和在微米量级的立方氮化硼(C-BN)上生...
关键词：金刚石薄膜 外延生长 界面结构 硅基底 
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