孙恒德

作品数：1被引量：14H指数：1
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供职机构：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所更多>>
发文主题：硅片单晶硅片单晶抛光液抛光技术更多>>
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单晶硅片的低温抛光技术被引量：14
《光学精密工程》1998年第5期104-109,共6页韩荣久 孙恒德 徐德全 张云 王立江 
应用光学国家重点实验室基金
介绍了一种光学材料抛光新技术——低温抛光技术。首先把抛光液冷冻成低温抛光模层，并对单晶硅片做抛光实验，实验结果表明这是一种很好的光学材料抛光方法。
关键词：低温抛光 抛光模层 抛光液 单晶 硅片 
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