张强

作品数：2被引量：11H指数：2
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供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文主题：光学光刻技术光刻机投影光刻物镜照明系统CCD扫描仪更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《微纳电子技术》《微细加工技术》更多>>
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ASML公司光学光刻技术最新进展被引量：8
《微细加工技术》2002年第3期8-11,27,共5页张强 胡松 姚汉民 刘业异 
荷兰ASML公司作为全球三大光刻机集成生产商之一 ,通过不断的技术创新 ,在全球光刻机市场上居于领先地位。在简单介绍光刻机基本工作原理和主要技术指标的基础上 。
关键词：ASML公司 光刻机 投影光刻物镜 光学对准 照明系统 双平台扫描 
生物芯片扫描仪被引量：3
《微纳电子技术》2002年第3期43-45,共3页张强 胡松 刘业异 
生物芯片扫描仪是生物芯片应用的关键器件。本文概括介绍了激光扫描仪和CCD扫描仪两种主要生物芯片扫描仪的工作方式,对目前市场上各种扫描仪的性能进行了比较,并讨论了扫描仪的发展方向。
关键词：生物芯片 扫描仪 激光扫描仪 CCD扫描仪 
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