李英俊

作品数：1被引量：1H指数：1
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发文主题：MOS器件SIOSI-SIO2半导体材料界面态更多>>
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强脉冲X射线辐照在Si-SiO_2中感生的界面态及退火消除被引量：1
《强激光与粒子束》2002年第4期521-525,共5页杨志安 靳涛 李英俊 姚育娟 罗尹虹 
国家自然科学基金资助的课题 ( 6 986 6 0 0 1)
利用强脉冲 X射线对 Si- Si O2 界面进行了辐照 ,测量了界面态曲线和退火曲线。实验显示 :经过强脉冲 X射线对 Si- Si O2 界面进行的辐照 ,在 Si- Si O2 界面感生出新的界面态 ,感生界面态的增加与辐照剂量成正比 ,并且易出现饱和现象...
关键词：强脉冲X射线辐照 SI-SIO2 退火 强辐射场 界面态 半导体材料 MOS器件 
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