王增福

作品数：1被引量：7H指数：1
导出分析报告
供职机构：中国空间技术研究院更多>>
发文主题：磁控溅射镀膜设备离子镀更多>>
发文领域：一般工业技术化学工程更多>>
发文期刊：《真空》更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
多层复合真空离子镀膜技术的新发展被引量：7
《真空》2002年第3期10-12,共3页王增福 陈步亮 范斌 张再鸣 李然 
本文回顾了多弧——磁控溅射多功能离子镀膜设备的结构和功能 ,并且对该设备在氮化钛掺金离子镀 (IPG)方面的典型应用 ,做了较为详细的膜层性能分析。同时 ,本文又对近年来一种新型的多功能离子镀设备——复合式离子镀膜设备的结构及特...
关键词：多层复合真空离子镀膜技术 离子镀 多层镀 磁控溅射 镀膜设备 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部