李思涛

作品数：1被引量：7H指数：1
导出分析报告
供职机构：华中科技大学更多>>
发文主题：激光谐振腔三自由度掩模二元光学元件光刻更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
二元光学元件的制作及其误差分析被引量：7
《光电子技术与信息》2000年第5期24-29,共6页李思涛 叶嘉雄 阮玉 徐启阳 郭志霞 
国家自然科学基金
详细介绍了二元光学元件制作的光刻技术和一些新的制作工艺，包括薄膜沉积法、激光束或电子束直接写入法和准分子激光加工法．针对用于ＣＯ２激光器模式优化的二元光学反射镜，分析了元件制作误差，包括掩模对准误差、台阶刻蚀深度误差...
关键词：二元光学元件 光刻 掩模 误差 微电子 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部