李志炜

作品数：2被引量：5H指数：1
导出分析报告
供职机构：中国科学院光电技术研究所更多>>
发文主题：紫外光固化微结构巯基大口径衍射透镜更多>>
发文领域：电子电信理学自动化与计算机技术一般工业技术更多>>
发文期刊：《激光技术》《光电工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
共 条 记 录，以下是1-2
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
变结构反应离子刻蚀腔室流场热场的数值仿真被引量：4
《激光技术》2020年第1期136-142,共7页张景文 范斌 李志炜 汉语 
国家自然科学基金资助项目(61505216);国家重点研发计划资助项目(2016YFB0500200)
为了提高刻蚀的均匀性,对400mm反应离子刻蚀(RIE)腔室建立了气体流动的连续流体模型和热传递模型,研究了反应腔室内压强、流速和温度分布。冷却板恒温285K时,依次改变入口流量和出口压强,分别分析了腔室内部基片晶圆附近的流速、压强、...
关键词：光学制造 反应离子刻蚀 变结构腔室 流热场分布 滑移区稀薄气体 数值模拟 
基于巯基-烯材料的亚波长光栅制备方法研究被引量：1
《光电工程》2016年第1期65-70,共6页张满 邓启凌 李志炜 庞辉 史立芳 曹阿秀 胡松 
国家自然科学基金资助项目(11174281)
针对亚波长光栅结构和特性要求,本文提出了一种基于巯基-烯材料的亚波长光栅的制备方法。该方法利用柔性的聚二甲基硅氧烷(PDMS)亚波长光栅结构为压印模板,以巯基-烯材料作为压印胶,利用紫外光固化软印刷技术制备以聚甲基丙烯酸甲酯(PM...
关键词：亚波长光栅 巯基-烯材料 PDMS 紫外光固化软印刷技术 PMMA 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部