李垒

作品数：2被引量：3H指数：1
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供职机构：清华大学更多>>
发文主题：以太网端口并行化半导体制造设备半导体制造仿真系统更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
发文期刊：《电子科技大学学报》《重庆邮电大学学报（自然科学版）》更多>>
所获基金：国家自然科学基金国家科技重大专项重庆市自然科学基金更多>>
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基于SEMI标准的半导体工艺设备功能仿真系统设计被引量：3
《电子科技大学学报》2012年第4期599-604,共6页王巍 邹龙庆 徐华 李搏 贾培发 李垒 
02号国家科技重大专项(2009ZX02001-003);国家自然科学基金(60875073)
设计实现了一个基于SEMI标准的半导体工艺设备仿真平台,该平台具有通用可配置特性。在该平台的基础上,构建了一套基于SEMI标准的气路功能仿真系统,该气路仿真系统包含了功能层、逻辑层和外部通信接口层,既能满足单独设备的功能仿真需求...
关键词：功能仿真 物理气相沉积系统 半导体工艺设备 SEMI标准 
传输矩阵法分析各向异性介质微带线色散特性
《重庆邮电大学学报（自然科学版）》2011年第1期53-57,共5页王巍 李垒 韩冰 熊媛 
重庆市自然科学基金(CSTC;2010BB2412)~~
从电磁场切向分量的通解形式出发,提出一种求解电磁场传输矩阵的新算法。分析了微带线色散特性与各向异性介质参数之间的关系,得出以下结果,在频率为20 GHz时,介电常数张量ε和磁导率张量μ中的矩阵元对微带线色散特性的影响从大到小的...
关键词：色散 各向异性 微带线 传输矩阵 
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