李搏

作品数：1被引量：3H指数：1
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供职机构：清华大学更多>>
发文主题：仿真数据帧有效信息仿真系统仿真设备更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信更多>>
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基于SEMI标准的半导体工艺设备功能仿真系统设计被引量：3
《电子科技大学学报》2012年第4期599-604,共6页王巍 邹龙庆 徐华 李搏 贾培发 李垒 
02号国家科技重大专项(2009ZX02001-003);国家自然科学基金(60875073)
设计实现了一个基于SEMI标准的半导体工艺设备仿真平台,该平台具有通用可配置特性。在该平台的基础上,构建了一套基于SEMI标准的气路功能仿真系统,该气路仿真系统包含了功能层、逻辑层和外部通信接口层,既能满足单独设备的功能仿真需求...
关键词：功能仿真 物理气相沉积系统 半导体工艺设备 SEMI标准 
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