杜飞

作品数：1被引量：1H指数：1
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供职机构：中南大学机电工程学院更多>>
发文主题：重复控制高精密工件台数学模型岩石动态更多>>
发文领域：电子电信理学自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《现代制造工程》更多>>
所获基金：国家自然科学基金上海市科学技术委员会资助项目更多>>
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高精密运动平台的重复控制被引量：1
《现代制造工程》2008年第11期13-16,共4页杜飞 吴运新 
国家自然科学基金项目(50390064);上海市科委资助项目
为给步进扫描光刻机的设计研究提供理论指导,解决光刻机工作台宏动平台的控制问题,建立了步进扫描光刻机模拟减振试验平台宏动定位系统工作台伺服系统的数学模型,并根据该系统重复运动的特点,提出一种基于重复控制补偿的PID控制方式。运...
关键词：步进式扫描光刻机 工件台 数学模型 重复控制 
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