李文静

作品数：5被引量：18H指数：3
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供职机构：广东工业大学更多>>
发文主题：PCB印制电路板焦深激光投影光刻物镜更多>>
发文领域：电子电信自动化与计算机技术更多>>
发文期刊：《现代电子技术》《广东工业大学学报》《光电工程》《半导体光电》更多>>
所获基金：广州市科技计划项目广东省自然科学基金更多>>
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折叠式激光投影光刻物镜的设计研究被引量：7
《光电工程》2007年第9期46-49,102,共5页李文静 周金运 林清华 
广州市科技计划项目(2006Z3-D0041);广东省自然科学基金(07001789)
针对大面积、高产量和节约型印制电路板(PCB)生产使用的激光投影光刻机,利用ZEMAX工程光学设计软件,对其投影系统进行了模拟设计与优化,并对优化后的结果进行了分析。对于设计的激光投影系统,其特征尺寸分辨力达到了9μm,全视场波像差...
关键词：印制电路板(PCB) 激光投影光刻 投影物镜 光学设计 
PCB激光投影成像扫描技术分析被引量：6
《量子电子学报》2007年第3期357-360,共4页林清华 李文静 周金运 
广州市科技计划资助项目(2006Z3-D0041)
通过对印制电路板激光投影成像技术使用的步进重复扫描和六边形无接缝扫描方法进行比较,揭示了六边形无接缝扫描技术的优越性能,对六边形无接缝扫描技术的均匀曝光过程及其实现的原理进行了阐述,并对影响扫描成像的曝光量和曝光速度等...
关键词：激光技术 激光投影成像 六边形无接缝扫描 曝光 印制电路板 
PCB激光投影成像装置关键技术参数分析被引量：5
《半导体光电》2007年第2期294-297,共4页林清华 李文静 周金运 
广州市科技计划项目(2006Z3-D0041)
对用于印制电路板(PCB)工业化生产的激光投影成像装置中的激光投影系统和激光照明系统的关键技术参数进行了分析,在对装置整体性能设计要求下,理论推导和分析了符合实际场景的关键技术参数,包括分辨率、焦深、物镜结构、激光光源、照明...
关键词：印制电路板 激光投影成像 扫描曝光 
PCB激光投影光刻照明系统的设计被引量：1
《广东工业大学学报》2007年第2期33-35,共3页林清华 李文静 宋超 王鲁宾 
广州市科技计划项目(2006Z3-D0041)
针对大面积、高产量和节约型印制电路板(PCB)生产使用的激光投影光刻机,利用ZEMAX工程光学设计软件,对其照明系统进行了模拟设计与优化,并对优化后的结果进行了分析.对于设计的照明系统,其像面均匀性、光斑大小和形状、像差以及照明系...
关键词：印制电路板 激光投影光刻 照明系统 
基于Matlab的APD器件模拟
《现代电子技术》2006年第13期146-148,共3页程涛 周金运 李文静 
为了迅速了解雪崩光电二极管(APD)的特性以确保量子保密通信系统的质量,在适当的假设前提下,依据经验公式并借助于Matlab的矩阵运算功能计算吸收渐变电荷倍增分离型雪崩光电二极管(SAGCM APD)的电场分布,然后以此得出电子、空穴倍增系数...
关键词：MATLAB 吸收渐变电荷倍增分离型雪崩光电二极管(SAGCM—APD) 传递函数 量子保密通信 
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