云南高校图书馆联盟文献共享服务平台- 罗才军

罗才军: 作品数：1被引量：1H指数：1; 导出分析报告; 供职机构：西安交通大学材料科学与工程学院金属材料强度国家重点实验室更多>>; 发文主题：PECVD等离子体增强化学气相沉积处理工艺盐酸溶液阿拉伯树胶更多>>; 发文领域：一般工业技术建筑科学电子电信更多>>; 发文期刊：《无机材料学报》更多>>; 所获基金：江苏省新型环保重点实验室开放课题基金国家自然科学基金更多>>

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PECVD下基底温度对SiC薄膜形态、成分及生长速度的影响被引量：1: 《无机材料学报》2013年第2期201-206,共6页于方丽白宇秦毅岳冬罗才军杨建锋; 国家自然科学基金(51202211;51202187);江苏省新型环保重点实验室开放课题基金(AE201013)~~; 在单晶Si和多晶Cu基底表面上使用等离子体增强化学气相沉积（PECVD）方法沉积了SiC薄膜．通过高分辨透射电子显微镜（HRTEM）、X射线光电子能谱仪（XPS）及扫描电子显微镜（SEM）研究基底温度对SiC薄膜成分、结构及生长速度的影响规律...; 关键词：碳化硅等离子体增强化学气相沉积非晶态薄膜生长速度基底温度