华如江

作品数：1被引量：2H指数：1
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供职机构：中国科学院上海光学精密机械研究所更多>>
发文主题：化学抛光氧化锌研磨液机械抛光专用粘结剂更多>>
发文领域：理学更多>>
发文期刊：《人工晶体学报》更多>>
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化学抛光和退火对钛酸锶基片表面改性研究被引量：2
《人工晶体学报》2008年第5期1107-1112,共6页陈光珠 杭寅 汪隽 何晓明 张连翰 李志鸿 华如江 何明珠 
本文运用原子力显微镜检测传统机械抛光和化学机械抛光以及退火前后的钛酸锶(STO)衬底表面,研究了化学机械抛光和退火对钛酸锶(STO)基片表面形貌的影响,结果表明化学抛光可以使表面粗糙度达到0.214 nm,明显优于机械抛光。对比测量退火...
关键词：钛酸锶 超光滑表面 化学机械抛光 退火 
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