李海军

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供职机构：中国电子科技集团第十三研究所更多>>
发文主题：可变光衰减器微机械MEMS波分复用硅更多>>
发文领域：电子电信机械工程更多>>
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一种低成本光通信用MEMS可变光衰减器
《传感技术学报》2006年第05A期1731-1734,共4页李海军 杨拥军 王建军 徐永青 郑七龙 陈维友 
介绍了一种采用新型体硅微机械加工工艺研制的低成本光通信用微机械可变光衰减器.根据光通信系统对可变光衰减器的插入损耗低、动态衰减范围大、响应时间短等技术要求,对器件的机械模型结构和光耦合模型结构进行了分析.测试表明器件的...
关键词：微机械 光学微机电系统 可变光衰减器 波分复用 
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