黎凌华

作品数：1被引量：5H指数：1
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供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
发文主题：LEDGAN蓝宝石图形衬底表面等离子体薄膜微结构更多>>
发文领域：电子电信一般工业技术更多>>
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高效大功率LED用蓝宝石图形衬底制备的研究进展被引量：5
《功能材料》2012年第21期2886-2892,共7页桂全宏 周福强 汪桂根 崔林 黎凌华 严帅 韩杰才 
国家自然科学基金资助项目(50902028;51172054)
近年来,图形化的蓝宝石衬底在改善GaN晶体外延生长质量以及提升LED器件发光提取效率方面作用显著,引起了广泛的研究兴趣。综述了蓝宝石图形衬底的制备方法(干法刻蚀、湿法刻蚀、外延生长法),并较系统地介绍了蓝宝石图形衬底表面周期性...
关键词：蓝宝石图形衬底 GAN LED 
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