崔林

作品数：3被引量：16H指数：2
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供职机构：哈尔滨工业大学更多>>
发文主题：蓝宝石图形衬底发光二极管LEDGAN电子束光刻更多>>
发文领域：电子电信更多>>
发文期刊：《人工晶体学报》《功能材料》《无机材料学报》更多>>
所获基金：国家自然科学基金深圳市基础研究计划项目哈尔滨工业大学科研创新基金广东省自然科学基金更多>>
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高效大功率LED用蓝宝石图形衬底的制备
《人工晶体学报》2013年第8期1498-1503,共6页汪桂根 崔林 韩杰才 王新中 严帅 秦国双 
国家自然科学基金(61240015);广东省自然科学基金(9451805707003351;S2012010010030);深圳市基础研究计划项目(JCYJ20120613134210982;JCYJ20120615101957810);哈尔滨工业大学科研创新基金(HIT.NSFIR.2011123)
首先在蓝宝石衬底上旋涂PMMA/copolymer双层胶,然后再进行电子束光刻处理,随后溅射铝膜,并结合剥离技术,从而制备图形化金属铝膜;最后再采用两步热处理法,使图形铝膜发生固相外延反应。在此过程中,侧重于电子束光刻和高温热处理的工艺...
关键词：蓝宝石 图形衬底 电子束光刻 剥离 发光二极管 
高效大功率LED用蓝宝石图形衬底制备的研究进展被引量：5
《功能材料》2012年第21期2886-2892,共7页桂全宏 周福强 汪桂根 崔林 黎凌华 严帅 韩杰才 
国家自然科学基金资助项目(50902028;51172054)
近年来,图形化的蓝宝石衬底在改善GaN晶体外延生长质量以及提升LED器件发光提取效率方面作用显著,引起了广泛的研究兴趣。综述了蓝宝石图形衬底的制备方法(干法刻蚀、湿法刻蚀、外延生长法),并较系统地介绍了蓝宝石图形衬底表面周期性...
关键词：蓝宝石图形衬底 GAN LED 
用于GaN基发光二极管的蓝宝石图形衬底制备进展被引量：13
《无机材料学报》2012年第9期897-905,共9页崔林 汪桂根 张化宇 周福强 韩杰才 
国家自然科学基金(50902028;51172054);深圳市基础研究计划项目(JC200903120169A);哈尔滨工业大学科研创新基金(HIT.NSFIR.2011123)~~
近几年,图形化蓝宝石衬底因其作为GaN基发光二极管外延衬底,不仅能降低GaN外延薄膜的线位错密度,还能提高LED的光提取效率而引起国内外许多科研机构的广泛研究兴趣.本文综述了图形化蓝宝石衬底提高GaN基发光二极管性能的作用机理,重点...
关键词：图形化蓝宝石衬底 氮化镓 发光二极管 横向外延过生长 综述 
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