钟少龙

作品数：19被引量：71H指数：5
导出分析报告
供职机构：中国科学院上海微系统与信息技术研究所更多>>
发文主题：MEMS加速度传感器键合微机电系统MEMS工艺更多>>
发文领域：自动化与计算机技术电子电信机械工程电气工程更多>>
发文期刊：《工业建筑》《传感技术学报》《光学精密工程》《控制工程》更多>>
所获基金：国家重大科学仪器设备开发专项国家高技术研究发展计划国家自然科学基金北京市教委科技计划面上项目更多>>
-
在结果中检索

检索结果分析

署名顺序

  • 全部
  • 第一作者
结果分析中...
选择条件：
  • 期刊=传感技术学报x
共 条 记 录，以下是1-1
全选清除导出
参考文献引证文献引用追踪
视图：
排序：
MEMS加速度计信号光电检测与电容检测的噪声分析被引量：4
《传感技术学报》2008年第5期785-790,共6页曾凡林 钟少龙 徐静 吴亚明 
中国科学院知识创新工程重要方向性项目;微系统技术国家级重点实验室基金项目资助
在高精度MEMS扭摆式加速度计电容检测和光电检测实现原理的基础上,分析了该加速度计热机械噪声和电学噪声特性。该加速度计结构在品质因数Q=1和Q=85时,热机械噪声分别为2.4μgn/Hz和0.28μgn/Hz。对于电学噪声,电容检测的电学噪声为3.27...
关键词：电容检测 光电检测 热机械噪声 电学噪声 
全选清除导出
共1页<1>
检索报告 对象比较 聚类工具 使用帮助 返回顶部